正バイアス電極を持つ間欠ジルコニウムPBII&D法による酸化ジルコニウム膜生成
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概要
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- 2006-11-10
著者
-
須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
-
須田 善行
北海道大学
-
行村 建
同志社大学
-
明石 周平
同志社大学
-
Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
-
行村 建
同志社大学工学部
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