C_7F_<16>を用いたC:F膜の堆積とその評価 : ガス圧依存性および気体混合による効果
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概要
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- 2001-08-07
著者
-
酒井 洋輔
北海道大学
-
菅原 広剛
北海道大学大学院情報科学研究科
-
菅原 広剛
北海道大学
-
須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
-
赤澤 正道
北海道大学
-
鉾井 耕司
北海道大学
-
須田 善行
北海道大学
-
Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
-
赤澤 正道
北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター
-
Akazawa M
Hokkaido Univ. Sapporo Jpn
-
Akazawa Masamichi
Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
Akazawa Masamichi
Department Of Electrical Engineering Faculty Of Engineering And Research Center For Interface Quantu
-
Akazawa Masamichi
Department Of Electrical Engineering Hokkaido University
-
Akazawa Masamichi
Research Center For Interface Quantum Electronics And Department Of Electrical Engineering Hokkaido
-
赤澤 正道
北海道大学情報科学研究科量子集積エレクトロニクス研究センター
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