C_8F_<18>プラズマCVDによるa-C:F膜生成とその特性の評価
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概要
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- 2007-09-13
著者
-
酒井 洋輔
北海道大学
-
菅原 広剛
北海道大学大学院情報科学研究科
-
菅原 広剛
北海道大学
-
須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
-
小池 広恵
北海道大学
-
山内 達也
北海道大学
-
須田 善行
北海道大学
-
Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
-
Suda Yoshiyuki
Graduate School of Information Science and Technology, Hokkaido University, North 14, West 9, Sapporo 060-0814, Japan
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