C_8F_<18>プラズマCVDを用いたa-C:F膜の生成とその特性の評価
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2003-08-05
著者
-
酒井 洋輔
北海道大学
-
須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
-
須田 善行
北海道大学
-
太田 章嗣
北海道大学
-
BILOIU Costel
ウェストバージニア大学
-
BRATESCU Maria-Antoaneta
北海道大学
-
Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
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