Enhancement of Nitrogen Gas Breakdown Voltage between Coated Aluminum Electrodes with Fluorocarbon Polymer Film Prepared in C_8F_<18> Vapor RF Plasma
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概要
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- Publication Office, Japanese Journal of Applied Physics, Faculty of Science, University of Tokyoの論文
- 2003-02-15
著者
-
酒井 洋輔
北海道大学
-
Biloiu Costel
Division Of Electronics And Information Engineering Hokkaido University
-
Nakajima Masatoshi
Fuji Electric Corporate R&d Ltd.
-
Suda Yoshiyuki
Division Of Electronics For Informatics Graduate School Of Information Science And Technology Hokkai
-
SAKAI Yosuke
Division of Electronics for Informatics, Graduate School of Information Science and Technology, Hokk
-
BILOIU Ioana
Division of Electronics and Information Engineering, Hokkaido University
-
Biloiu Ioana
Division Of Electronics And Information Engineering Hokkaido University
-
Sakai Yosuke
Division Of Electronics For Informatics Graduate School Of Information Science And Technology Hokkai
-
Nakajima Masatoshi
Fuji Electric Co. Ltd.
-
Sakai Yosuke
Division of Electronics and Information Engineering, Hokkaido University, North 13 West 8, Sapporo 060-8628, Japan
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