モンテカルロシミュレーションによる高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布周期変化の圧力依存性解析
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概要
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- 2008-03-10
著者
-
森 直樹
北海道大学医学部精神科神経科
-
森 直樹
北海道大学
-
酒井 洋輔
北海道大学
-
菅原 広剛
北海道大学大学院情報科学研究科
-
菅原 広剛
北海道大学
-
須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
-
荒木田 大嗣
北海道大学
-
江口 礼良
北海道大学
-
須田 善行
北海道大学
-
Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
-
Suda Yoshiyuki
Graduate School of Information Science and Technology, Hokkaido University, North 14, West 9, Sapporo 060-0814, Japan
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