全方位シャンティングアーク放電による窒素を含むアモルファスカーボン薄膜生成
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2005-12-08
著者
-
高木 浩一
岩手大学
-
藤原 民也
岩手大学工学部電気電子工学科
-
藤原 民也
岩手大学
-
向川 政治
岩手大学
-
須田 善行
北海道大学大学院情報科学研究科
-
須田 善行
北海道大学
-
行村 建
同志社大学
-
江古 憲一
同志社大学工学部
-
今井 貴文
同志社大学
-
今井 高文
同志社大学
-
行村 建
同志社大工
-
Bratescu M.
Division Of Electronics And Information Engineering Graduate School Of Engineering Hokkaido Universi
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
江古 憲一
同志社大学
関連論文
- シイタケの子実体形成に対するパルス電圧刺激の効果
- 誘導性パルスパワー電源を用いた大電流グロー放電プラズマの生成
- SiC-JFETを用いた誘導加速シンクロトロン用スイッチング電源の開発
- 窒素雰囲気でのコロナ放電イオナイザーによる電荷の発生と空間分布
- 窒素雰囲気でのコロナ放電イオナイザーの動作特性と除電効果
- 高速リカバリーダイオードを用いた誘導性エネルギー蓄積方式パルスパワー電源におけるオゾン生成効率
- 誘導性パルスパワー電源を用いたオゾン生成の酸素濃度依存性
- 腐生性きのこの電気刺激増産に対する収穫履歴の影響
- 気相放電水中進展型リアクタを用いた汚水浄化における電極構造と極性効果による影響
- 誘電体パックドベッドプラズマリアクタにおける充填誘電体の形状と材質のオゾン生成特性への影響
- 高周波大気圧プラズマを用いた高分子材料表面の親水性向上と浮遊電極の影響
- シャンティングアークを用いた金属プラズマの生成
- 気相放電水中進展型リアクタの形状最適化によるエネルギー損失低減と汚水浄化過程の検討
- 低誘電率薄膜(MSQ)のアンモニアプラズマ窒化と誘電体メッシュの効果
- 気相放電水中進展型リアクタを用いた高導電性汚水の浄化
- 同軸円筒型バリア放電方式NO除去に対する初期ガス条件の影響
- 大気圧マイクロギャップバリア放電における自己組織化の発現
- 大気圧プラズマジェットを用いた高分子材料表面の親水性制御における水分の効果
- ブルームライン型パルス電源の特性と汚水浄化への応用
- 誘導性パルスパワー電源を用いたオゾン生成効率のパルス幅依存性
- 自己組織化大気圧マイクロギャップ放電における気流の影響
- パルスパワー技術の農業・食品分野への応用
- 同軸円筒型バリア放電方式NO除去におけるパルス繰り返し周波数の最適化に対する検討
- 3.大気圧プラズマを準備しよう(大気圧プラズマを点けてみよう)
- SiC-JFET駆動用ゲート回路の開発
- 水中気泡内放電による有機染料の脱色におけるエネルギー効率の改善
- 同軸円筒型バリア放電方式NO除去における周波数依存性
- 浮遊電極を利用した自己消弧放電による大気圧プラズマの発生
- 半導体オープニングスイッチを用いたパルス電源による放電進展のパルス幅依存性
- 電気刺激を用いた腐生性きのこの収量改善
- コロナ放電方式イオナイザーによる窒素雰囲気中のウェーハの帯電と除電
- 電気電子マイスターを意識したコンピュータリテラシーからものづくりへの教育展開
- パルス電気刺激を用いた食用きのこの増産
- 低誘電率薄膜のプラズマ窒化における誘電体メッシュの効果
- 大気圧マイクロギャップ放電における気流の効果
- パルス駆動同軸円筒型DBDリアクタによるオゾン生成
- オゾン生成の電極形状依存性とV-Qリサージュを用いた検討
- 誘電体バリア放電方式NO除去の初期NO濃度依存性
- SOSダイオードを用いたパルスパワー電源によるオゾン生成
- CNx成膜のためのシャンティングアークを用いた炭素・窒素混合プラズマの生成
- パルス通電セラミックス接合における駆動電圧の低減
- きのこ養殖生産性向上のためのパルスパワー電源の開発
- SOSダイオードを用いたパルスパワー電源の特性検討
- 容量連結型電極を用いたプラズマ生成における回路パラメータの影響
- 2. 大気圧プラズマを学ぼう(大気圧プラズマを点けてみよう)
- 正バイアス電極を用いたシャンティングアークによる誘起プラズマの生成
- シャンティングアーク放電誘起プラズマの電流特性
- 全方位シャンティングアーク放電による窒素を含むアモルファスカーボン薄膜生成
- ターゲット電流を用いたシャンティングアークプラズマの密度計測
- シャンティングアークアシストRF(195kHz)放電のイオン電流とイオン密度
- シャンティングアークアシストRF(195kHz)放電の発光スペクトル
- 誘導性パルスパワー電源を用いたオゾン生成効率のパルス幅依存性
- 容量連結型電極を用いたプラズマ生成とそのエネルギー制御
- 容量連結型電極を用いたプラズマ生成とその制御
- シャンティングアークによる成膜プロセス
- 大電流パルス通電セラミックス接合法における中間材形状の効果
- チタン箔溶断セラミックス接合における回路インダクタンスの効果
- 金属箔溶断を用いたセラミックスの接合
- チタン箔溶断によるセラミックスの接合
- 大電流通電法によるセラミックスの接合
- パルスパワーによるアルミナの接合
- パルスパワーを利用した大気圧グロー放電の発生とその特性
- 4.大気圧プラズマを点けてみよう
- シャンティングアークを用いた窒素含有プラズマ生成とCNx成膜への適用
- シャンティングアークプラズマの大容積化と管内壁処理への適用
- PBII&D法によるRFスパッタを用いたカーボン膜およびタングステンカーボン膜生成
- コロナ放電方式によるイオナイザーと除電への応用
- 水中放電プラズマによる水質浄化
- パルスパワー・プラズマの農業・食品分野への応用
- ネオン変圧器を用いたバリア放電型NOx処理系のエネルギー変換効率
- 誘電体バリア放電を用いたNO_2除去
- バリア放電による排ガス処理III : 印加電圧波形の効果
- 分光学的手法を用いた大電流パルスグロー放電の振動温度導出
- SOSダイオードを用いたパルス電源によるNOx除去
- オゾン注入方式によるNO除去の高効率化
- 窒素パルスグロー放電の電流・電圧特性
- マルチポイントバリア放電を用いたNO除去量のギャップ長依存性
- マルチポイントバリア放電を用いた排ガス処理
- 誘電体バリア放電によるディーゼル発電機の排ガス処理
- 20kVA定格ディーゼル発電機のNOx処理
- バリア放電によるディーゼル発電機排ガスの処理
- 大電流パルスグロー放電の特性
- 大電流過渡グロー放電の陰極スポット形成条件
- 大電流パルスグロー放電の特性
- 24aYF-10 大電流パルスグロー放電の特性
- パルスグロー放電を用いた大容量高密度プラズマの生成
- パルスパワーによる大電流異常グロー放電の生成
- コンピュータリテラシー教育からものづくり教育への展開
- パルスパワー技術入門(3)パワー半導体デバイスの役割
- シャンティングアークを用いた複合プラズマにおける分光特性
- シャンティングアークによりトリガされた正バイアス電極に発生する誘起プラズマ特性
- 誘電体バリア放電の電極形状による放電特性の変化
- 誘電体バリア放電方式オゾン注入法の電極形状による高効率化
- 高周波を用いた低誘電率薄膜のプラズマ窒化
- 地域連携を活用した小学校のエネルギー環境学習プログラムの策定とその教材開発
- 地域連携を活用した小学校高学年用エネルギー環境学習プログラムと教材の開発
- 磁気駆動を用いたシャンティングアークプラズマ成膜の速度改善
- 磁気駆動型シャンティングアークをもちいたアモルファスカーボン成膜
- 磁気駆動型シャンティングアークの発生とその電気的特性
- 電気回路・電磁気学への架け橋としての電気数学の設計