ハイパワーパルススパッタ(HPPS)グロー放電とパルスRF誘導プラズマ結合プラズマの電気的相互作用
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概要
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- 2010-02-23
著者
-
東 欣吾
兵庫県立大
-
行村 建
産業技術総合研究所
-
玉垣 浩
(株)神戸製鋼所
-
沖本 忠雄
(株)神戸製鋼所
-
行村 建
同志社大工
-
東 欣吾
兵庫県立大学
-
行村 健
産業技術総合研究所
-
行村 建
産業技術総合研
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