チタン陰極アークを使用したプラズマイオン注入・堆積法によるTiN薄膜のモホロジー
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概要
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- 2001-12-10
著者
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木幡 護
東芝タンガロイ
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齋藤 英純
神奈川高度技術支援財団
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斎藤 英純
神奈川高度技術支援財団
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行村 建
同志社大工
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馬 欣新
同志社大学
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熊谷 正夫
神奈川産技セ
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丸山 敏朗
京都大学
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熊谷 正夫
神奈川産総研
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久世 英司
同志社大
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久世 英司
同志社大学
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行村 健
産業技術総合研究所
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行村 建
同志社大・工
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