熊谷 正夫 | 神奈川産総研
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概要
関連著者
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熊谷 正夫
神奈川産総研
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熊谷 正夫
神奈川産技セ
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熊谷 正夫
神奈川高度技術支援財団
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斎藤 英純
神奈川高度技術支援財団
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馬 欣新
同志社大学
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行村 健
産業技術総合研究所
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木幡 護
東芝タンガロイ
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行村 建
同志社大工
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丸山 敏朗
京都大学
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行村 建
同志社大・工
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高野 弘道
神奈川高度技術支援財団
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齋藤 英純
神奈川高度技術支援財団
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高野 弘道
神奈川高速技術支援財団
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横田 勝弘
関西大学工学部電子工学科
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節原 裕一
国立大学法人大阪大学接合科学研究所
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馬 欣新
ハルピン工業大学
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寺田 耕一郎
関西大学工学部・HRC
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久世 英司
同志社大
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久世 英司
同志社大学
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鈴木 操
神奈川高度技術支援財団
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横田 勝弘
関西大学工学部
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横田 勝弘
関西大・工
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渡辺 正則
イオン工学センター
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酒井 滋樹
日新イオン機器株式会社
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平井 清人
神奈川高度技術支援財団
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三宅 正司
阪大接合研
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鈴木 常生
阪大接合研
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丹上 正安
日新電機
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西村 英敏
関西大学工学部・HRC
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酒井 滋樹
日新電機
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Tanaka Yris
阪大接合研
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節原 裕一
阪大接合研
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渡辺 正則
イオン工学研
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渡邉 正則
(株)イオン工学研究所
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中村 和広
関西大学工学部
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三宅 正司
大阪大学接合科学研究所
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志賀 克哉
(株)ルネサステクノロジ
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佐藤 守
大阪工業技術試験所
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志賀 克哉
(株)ルネサステクノロジ ウェハプロセス技術統括部
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志賀 克哉
関西大・工
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安藤 靖典
日新電機
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松田 耕自
日新電機
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高木 俊宜
イオン工学センター
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志水 一平
三菱電機株式会社
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高木 俊宜
(株)イオン工学研究所
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志水 一平
大阪大学接合科学研究所
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節原 裕一
大阪大学接合科学研究所
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熊谷 正夫
神奈川県産業技術総合研究所
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齋藤 英純
神奈川県高度技術支援財団
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細川 浩一
関西大・工
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松田 耕自
日新電機(株)
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三宅 正司
近畿大学リエゾンセンター
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中村 和広
関西大学工学部専任講師
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熊谷 正夫
神奈川県産業技術センター
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熊谷 正夫
(財)神奈川高度技術支援財団
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寺田 耕一郎
関西大・工
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高木 俊宣
イオン工学センター
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熊谷 正夫
神奈川県高度技術支援財団
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佐藤 学
東芝タンガロイ (株)
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樋下田 和也
中外炉工業 (株)
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本並 義弘
スターロイ産業 (株)
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吉田 云一
三菱電気 (株)
著作論文
- シリコンへのリンとボロンの同時注入によるリンの拡散の抑制
- イオンビーム支援蒸着法を用いたCeO_2薄膜合成におけるモルフォロジーに及ぼすイオン照射効果
- 水素ECRプラズマ処理による砒素注入されたシリコンの浅いN形層の形成
- シリコンへのジボランイオン注入における水素分子イオンのボロン分布への影響
- ジボランイオン注入によってシリコンに添加されたボロンの活性化
- 327 イオンビーム支援蒸着法によるc-BN薄膜の合成
- 326 c-BN薄膜合成におけるイオンビームを用いた界面制御
- ラザフォード後方散乱分光法
- MeVイオン注入による金属表層の硬化 (特集 イオンビ-ム加工技術の開発)
- チタン陰極アークプラズマイオン注入・堆積法による窒化チタン成膜における成膜圧力の影響
- シャンティングアークによるカーボン系素材の堆積
- 金属プラズマを用いたPBII&Dにおけるイオンの効果
- チタン陰極アークを使用したプラズマイオン注入・堆積法によるTiN薄膜のモホロジー
- 陰極アークを用いたプラズマイオン注入・堆積法における円筒内面改質におけるターゲット印加電圧
- プラズマイオン注入におけるイオンの役割とTiN薄膜の構造に対するイオンの動的挙動の影響
- Ni,Cu基板に対するCのMeV注入による表面硬化のメカニズム
- Ni, Cu基板に対するCのMeV注入による表面硬化のメカニズム