節原 裕一 | 大阪大学接合科学研究所
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概要
関連著者
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節原 裕一
大阪大学接合科学研究所
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節原 裕一
国立大学法人大阪大学接合科学研究所
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三宅 正司
大阪大学接合科学研究所
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節原 裕一
大阪大学
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三宅 正司
大阪大学
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坂和 洋一
阪大レーザー研
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庄司 多津男
名大工
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熊谷 正夫
神奈川高度技術支援財団
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井手本 康
東京理科大学理工学部
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堀 勝
名古屋大学
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藤田 雅之
レーザー技術総合研究所
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井澤 友策
大阪大学 レーザーエネルギー学研究センター
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井澤 友策
大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
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藤田 雅之
財団法人レーザー技術総合研究所
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井手本 康
東京理科大学
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白谷 正治
九州大学大学院システム情報科学研究院
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井澤 靖和
大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
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庄司 多津男
名古屋大学大学院工学研究科
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川島 敏
メルテックス(株)
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姜 文圭
Faculty of Science and Engineering, Kinki University
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柴田 隆行
茨城大学
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坂和 洋一
名古屋大学工学研究科エネルギー理工学専攻
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井澤 靖和
大阪大学・レーザー核融合研究センター
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井澤 靖和
大阪大学 レーザー核融合センター
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鷹野 一朗
工学院大学電気工学科
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姜 文圭
近畿大学理工学部
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姜 文圭
近畿大学
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関根 誠
名古屋大学
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清川 肇
清川メッキ工業 (株)
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野田 和彦
電力中央研究所
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八木 裕
大日本印刷 (株)
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鷹野 一朗
工学院大
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関根 誠
名大
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柴田 隆行
茨城大学工学部
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鷹野 一朗
工学院大学
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鷹野 一朗
工学院大学工学部
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志水 一平
三菱電機株式会社
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志水 一平
大阪大学接合科学研究所
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齋藤 英純
神奈川高度技術支援財団
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熊谷 正夫
神奈川県産業技術総合研究所
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斎藤 英純
神奈川高度技術支援財団
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堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
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三宅 正司
近畿大学リエゾンセンター
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白谷 正治
九州大学 大学院システム情報科学研究院
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馬場 創
大阪大学大学院工学研究科
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野田 和彦
物質・材料研究機構
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張 津秋
大阪大学
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瀬渡 直樹
近畿大学
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鷹野 一朗
工学院大学 電気工学科
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熊谷 正夫
神奈川産技セ
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熊谷 正夫
神奈川県産業技術センター
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熊谷 正夫
神奈川産総研
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Kyoh Bunkei
Faculty Of Science And Engineering Kinki University
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Fujita Masayuki
New Materials Research Center Sanyo Electric Co.
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Fujita Masayuki
Yokohama National University Department Of Electrical And Computer Engineering
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節原 裕一
京都大学
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竹中 弘祐
阪大接合研
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八木 裕
大日本印刷(株)電子デバイス研究所
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馬場 創
科学技術振興事業団
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清川 肇
清川メッキ工業(株)
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趙 研
大阪大学接合科学研究所
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竹中 弘祐
大阪大学接合科学研究所
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井沢 靖和
大阪大学
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張津 秋
大阪大学接合科学研究所
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庄司 多津男
名古屋大学 工学研究科エネルギー理工学専攻
著作論文
- 低インダクタンス内部アンテナを用いた大口径誘導結合RFプラズマ生成
- "特集/エレクトロニクス産業を支える表面技術"の企画に当たって
- イオンビーム支援蒸着法を用いたCeO_2薄膜合成におけるモルフォロジーに及ぼすイオン照射効果
- フェムト秒レーザーを用いた半導体微細加工
- ヘリコン波励起プラズマスパッタリングによるCN_x薄膜合成
- 次世代メートルサイズ大面積プロセス用プラズマ源
- プラズマ源の開発
- 酸化物薄膜創成におけるミラー型ECRプラズマに及ぼすRFバイアス効果
- 6.低インダクタンス内部アンテナを用いたプラズマ源の開発と反応性プラズマプロセスへの展開(実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)
- フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ-ソフトマテリアル相互作用の解析
- 表面機能化プロセス
- スマートプロセス学会 表界面プロセス部会
- イオン・プラズマプロセスによる硼素,炭素,窒素系超硬質薄膜の合成
- 234 ヘリコンプラズマスパッタリングによるCN_x薄膜合成