堀 勝 | 名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
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概要
関連著者
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堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
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堀 勝
名古屋大学
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関根 誠
名古屋大学
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高橋 俊次
(株)片桐エンジニアリング
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白谷 正治
九州大学大学院システム情報科学研究院
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堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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関根 誠
名大
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節原 裕一
国立大学法人大阪大学接合科学研究所
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節原 裕一
大阪大学接合科学研究所
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白谷 正治
九州大学 大学院システム情報科学研究院
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関根 誠
名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
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竹中 弘祐
阪大接合研
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高橋 俊次
(株)片桐エンジニアリング:名古屋大学大学院工学研究科:名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
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趙 研
大阪大学接合科学研究所
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竹中 弘祐
大阪大学接合科学研究所
著作論文
- 7. 環境調和型ゼロエミッション・リサイクルナノエッチングプロセスの開発(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 1. はじめに(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 5.低誘電率(Low-k)材料のドライエッチング(ドライエッチングの科学と技術の新局面)
- 環境調和型ゼロエミッション・リサイクルナノエッチングプロセスの開発
- アドバンストテクノロジー開発最前線 新規エッチングガスを用いた半導体微細加工プロセス
- フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ-ソフトマテリアル相互作用の解析