竹中 弘祐 | 阪大接合研

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概要

• 同名の論文著者
• 阪大接合研の論文著者

関連著者

• 竹中 弘祐

  阪大接合研

• 竹中 弘祐

  大阪大学接合科学研究所

• 白谷 正治

  九州大学大学院システム情報科学研究院

• 白谷 正治

  九州大学大学院システム情報科学研究院電子デバイス工学部門

• 竹中 弘祐

  九州大学大学院システム情報科学府院電子デバイス工学専攻

• 竹中 弘祐

  九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻

• 節原 裕一

  国立大学法人大阪大学接合科学研究所

• 堀 勝

  名古屋大学

• 関根 誠

  名古屋大学

• 関根 誠

  名大

• 金 洪杰

  九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻

• 趙 研

  大阪大学接合科学研究所

• 節原 裕一

  大阪大学

• 節原 裕一

  大阪大学接合科学研究所

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター

• 鍛治 昂男

  九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻

• 鍛冶 昂男

  九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻

• 大西 将夫

  九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻

• 白谷 正治

  九州大学 大学院システム情報科学研究院

• 節原 裕一

  阪大接合研

• 江部 明憲

  (株)イー・エム・ディー

• 白谷 正治

  九州大学

• 竹中 弘祐

  大阪大学

• 趙 研

  大阪大学

• 大西 将夫[他]

  九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻

• 金 洪杰[他]

  九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻

• 竹中 弘祐[他]

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

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著作論文

• プラズマ異方性CVDを用いたトレンチ内へのRuの堆積
• 真空紫外吸収分光法を用いた銅CVD放電中のH密度測定
• Cu(EDMDD)_2を用いたHアシストプラズマCVD法により堆積したCuの成膜初期観察
• Cu(EDMDD)_2を用いたHアシストプラズマCVD法による高純度銅薄膜形成
• Cu(hfac)_2を用いたプラズマCVDによる銅薄膜の形成機構
• 21406 マルチアンテナ型RFプラズマによるメートル級大面積での低ダメージプロセスと制御(基調講演,デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
• フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ-ソフトマテリアル相互作用の解析
• フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマーソフトマテリアル相互作用の解析

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