江部 明憲 | (株)イー・エム・ディー

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概要

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関連著者

• 江部 明憲

  (株)イー・エム・ディー

• 三宅 正司

  阪大溶接研

• 巻野 勇喜雄

  大阪大学接合科学研究所

• 節原 裕一

  国立大学法人大阪大学接合科学研究所

• 三宅 正司

  近畿大学リエゾンセンター

• 三宅 正司

  大阪大学大学院工学研究科

• Miyake Shoji

  Welding Research Institute Of Osaka Univ.

• 三宅 正司

  (株)イー・エム・ディー

• 庄司 多津男

  名古屋大学大学院工学研究科

• 山田 澄

  摂南大学工学部電気電子工学科

• 三宅 正司

  大阪大学

• 三宅 正司

  大阪大学接合科学研究所

• 巻野 勇喜雄

  大阪大学

• 節原 裕一

  阪大接合研

• 竹中 弘祐

  阪大接合研

• 節原 裕一

  大阪大学 接合科学研究所

• 鈴木 健之

  大阪大学産業科学研究所

• 濱岡 陽介

  大阪大学接合科学研究所

• 稲実 宏

  日新電機(株)

• 渡邉 哲也

  日新電機(株)

• 江部 明憲

  (有)EMD

• 節原 祐一

  京都大学大学院工学研究科

• 田中 聖治

  摂南大学

• 鈴木 健之

  大阪大学接合科学研究所

• 西坂 和晃

  (株)イー・エム・ディー

• 山田 澄

  摂南大

• 竹中 弘祐

  大阪大学接合科学研究所

• 庄司 多津男

  名古屋大学　工学研究科エネルギー理工学専攻

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著作論文

• 21406 マルチアンテナ型RFプラズマによるメートル級大面積での低ダメージプロセスと制御(基調講演,デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
• メートルサイズの大面積プロセスに向けたプラズマ技術
• 低インダクタンス内部アンテナ方式ICP源によるポリシリコン薄膜の合成
• Si薄膜の結晶性に対するポストアニーリング効果
• 誘導結合型プラズマを用いた水素化アモルファスカーボン薄膜の作製

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