低インダクタンス内部アンテナ方式ICP源によるポリシリコン薄膜の合成
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概要
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- 2004-01-30
著者
-
庄司 多津男
名古屋大学大学院工学研究科
-
三宅 正司
大阪大学
-
三宅 正司
大阪大学接合科学研究所
-
江部 明憲
(株)イー・エム・ディー
-
濱岡 陽介
大阪大学接合科学研究所
-
稲実 宏
日新電機(株)
-
渡邉 哲也
日新電機(株)
-
江部 明憲
(有)EMD
-
節原 祐一
京都大学大学院工学研究科
-
庄司 多津男
名古屋大学 工学研究科エネルギー理工学専攻
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