ヘリコン波励起プラズマスパッタリングによるCN_x薄膜合成
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概要
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- 1996-02-09
著者
-
姜 文圭
Faculty of Science and Engineering, Kinki University
-
節原 裕一
大阪大学
-
三宅 正司
大阪大学
-
姜 文圭
近畿大学理工学部
-
姜 文圭
近畿大学
-
三宅 正司
大阪大学接合科学研究所
-
節原 裕一
国立大学法人大阪大学接合科学研究所
-
節原 裕一
大阪大学接合科学研究所
-
張 津秋
大阪大学
-
瀬渡 直樹
近畿大学
-
Kyoh Bunkei
Faculty Of Science And Engineering Kinki University
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