ミリ波加熱を利用した不揮発性メモリー用強誘電体薄膜のアニーリング
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概要
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- 粉体粉末冶金協会の論文
- 2002-10-15
著者
-
三宅 正司
阪大溶接研
-
松本 武
大阪大学接合科学研究所
-
三宅 正司
大阪大学接合科学研究所
-
三宅 正司
近畿大学リエゾンセンター
-
Miyake Shoji
Welding Research Institute Of Osaka Univ.
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