ミラー型ECRプラズマスパッタリングによるベロブスカイト型チタン酸化物薄膜合成
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概要
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- 2002-01-20
著者
-
三宅 正司
阪大溶接研
-
山田 澄
摂南大学工学部電気電子工学科
-
三宅 正司
近畿大学リエゾンセンター
-
三宅 正司
大阪大学大学院工学研究科
-
新納 厚志
阪大接合研
-
馬場 創
科学技術振興事業団プレベンチャー事業研究開発チーム 大阪大学先端科学技術共同研究センター
-
新納 厚志
大阪大学大学院工学研究科
-
西永 宗平
摂南大学工学部電気工学科
-
馬場 創
科学技術振興事業団
-
Miyake Shoji
Welding Research Institute Of Osaka Univ.
-
山田 澄
摂南大
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