松本 武 | 大阪大学接合科学研究所

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概要

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関連著者

• 松本 武

  大阪大学接合科学研究所

• 三宅 正司

  近畿大学リエゾンセンター

• 三宅 正司

  阪大溶接研

• 三宅 正司

  阪大接合研

• 松本 武

  阪大接合研

• Miyake Shoji

  Welding Research Institute Of Osaka Univ.

• 三宅 正司

  大阪大学大学院工学研究科

• 三宅 正司

  大阪大学接合科学研究所

• 巻野 勇喜雄

  阪大接合研

• 新納 厚志

  阪大接合研

• 巻野 勇喜雄

  Osaka Univ. Ibaraki Jpn

• 巻野 勇喜雄

  大阪大学 接合科学研究所

• 巻野 勇喜雄

  大阪大学接合科学研究所加工システム部門エネルギー変換機構学分野

• 大津 康徳

  佐賀大学

• 藤田 寛治

  佐賀大理工

• 大津 康徳

  佐賀大理工

• Fujita H

  Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo

• 藤田 寛治

  佐賀大学

• 沼田 乾

  神奈川高度技術支援財団高度計測センター

• 新納 厚志

  大阪大学大学院工学研究科

• Fujimori Hiroyasu

  Institute Of Material Research Tohoku University

• 松本 武

  阪大院工

• Fujita H

  Center For International Research On Micromechatronics (cirmm) Institute Of Industrial Science (iis)

• 藤田 寛治

  Institute Of Industrial Science The University Of Tokyo

• 沼田 乾

  神奈川高度技術支援財団

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著作論文

• 29pA04P ECRマイクロ波スパッタリングにおける基板入射イオンエネルギー分布の計測(プラズマ基礎・応用)
• ミリ波加熱を用いて結晶化されたSrBi_2Ta_2O_9強誘電体薄膜の特性
• ミリ波加熱を利用した不揮発性メモリー用強誘電体薄膜のアニーリング
• Y_2O_3添加AlNのミリ波帯電磁波焼結
• ミリ波焼結法による高熱伝導性AINの合成
• ECRプラズマスパッタリング法による次世代半導体メモリー用薄膜の合成
• Mirror-Confinement-Type ECR プラズマスパッタリング法によるSrBi_2Ta_2O_9薄膜の合成
• MOD法によるSrBi_2Ta_2O_9強誘電体薄膜の低温合成

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