イオンビーム支援蒸着法による窒化アルミ薄膜形成の数値計算
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概要
著者
-
姜 文圭
近畿大学理工学部
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高橋 康夫
大阪大学接合科学研究所
-
高橋 康夫
大阪大学接合科学研究所 : (現)先端科学イノベーションセンター
-
井上 勝敬
大阪大学接合科学研究所
-
逢 強
大阪大学大学院
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