328 ダイナミックイオンミキシング法によるAlN形成薄膜とSi基板界面近傍のオージェ解析
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概要
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- 社団法人溶接学会の論文
- 1997-03-15
著者
-
高橋 康夫
大阪大学接合科学研究所
-
高橋 康夫
大阪大学接合科学研究所 : (現)先端科学イノベーションセンター
-
井上 勝敬
大阪大学接合科学研究所
-
石井 宏之
三菱電機(株)生産技術センタ
-
田邊 雄志
大阪大学大学院
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