ミラー型ECRプラズマスパッタリングによるSrTiO_3薄膜合成
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概要
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- 2000-07-20
著者
-
姜 文圭
Faculty of Science and Engineering, Kinki University
-
姜 文圭
近畿大学理工学部
-
姜 文圭
近畿大学
-
三宅 正司
大阪大学接合科学研究所
-
三宅 正司
近畿大学リエゾンセンター
-
三宅 正司
大阪大学大学院工学研究科
-
馬場 創
大阪大学大学院工学研究科
-
坂本 一馬
近畿大学理工学部
-
Kyoh Bunkei
Faculty Of Science And Engineering Kinki University
-
馬場 創
科学技術振興事業団
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