イオン・プラズマプロセスによる硼素,炭素,窒素系超硬質薄膜の合成

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1998-06-10

著者

• 三宅 正司

  大阪大学接合科学研究所

• 節原 裕一

  国立大学法人大阪大学接合科学研究所

• 節原 裕一

  大阪大学接合科学研究所

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