低インダクタンス内部アンテナを用いた大口径誘導結合RFプラズマ生成

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概要

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• 2000-08-22

著者

• 坂和 洋一

  阪大レーザー研

• 庄司 多津男

  名大工

• 庄司 多津男

  名古屋大学大学院工学研究科

• 坂和 洋一

  名古屋大学工学研究科エネルギー理工学専攻

• 節原 裕一

  大阪大学

• 三宅 正司

  大阪大学

• 三宅 正司

  大阪大学接合科学研究所

• 節原 裕一

  国立大学法人大阪大学接合科学研究所

• 節原 裕一

  大阪大学接合科学研究所

• 庄司 多津男

  名古屋大学　工学研究科エネルギー理工学専攻

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