27pA15P 高周波放電を用いたシート状イオン源の開発(プラズマ基礎・応用)
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概要
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- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2000-11-20
著者
-
坂和 洋一
阪大レーザー研
-
庄司 多津男
名大工
-
庄司 多津男
名古屋大学大学院工学研究科
-
坂和 洋一
名古屋大学工学研究科エネルギー理工学専攻
-
矢野 健太郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
矢野 健太郎
名大工
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