ヘリコン波とその反応性プラズマへの応用

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1998-02-10

著者

• 坂和 洋一

  阪大レーザー研

• 庄司 多津男

  名大工

• 庄司 多津男

  名古屋大学大学院工学研究科

• 坂和 洋一

  名古屋大学工学研究科エネルギー理工学専攻

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