24pD-10 矩形ヘリコン波放電によるシート状イオン源の開発

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2000-03-10

著者

• 坂和 洋一

  阪大レーザー研

• 庄司 多津男

  名大工

• 坂和 洋一

  名大工

• 矢野 健太郎

  名大工

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