2. ヘリコン波プラズマ : プロセス用の新しい高密度プラズマの生成と診断 II
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概要
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Plasma production by helicon waves is characterized by various advantages, such as, high density plasmas(〜10^<13>cm^<-3>)are easily obtained by an rf source in the pressure range from 10^<-3> to 10^<-2> Torr, and production over a wide range of magnetic fields is possible. We interpret the mechanism of plasma production and the results of related experiments, including the application to plasma processing.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1998-01-25
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