31p-YQ-6 分子性ガスを用いたヘリコン波プラズマの特性

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1998-03-10

著者

• 坂和 洋一

  阪大レーザー研

• 庄司 多津男

  名大工

• 坂和 洋一

  名大工

• 菊池 秀樹

  名古屋大学工学研究科エネルギー理工学専攻

• 菊池 秀樹

  名大工

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