酸化物薄膜創成におけるミラー型ECRプラズマに及ぼすRFバイアス効果

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概要

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• 2000-01-20

著者

• 三宅 正司

  大阪大学接合科学研究所

• 節原 裕一

  国立大学法人大阪大学接合科学研究所

• 節原 裕一

  大阪大学接合科学研究所

• 馬場 創

  大阪大学大学院工学研究科

• 馬場 創

  科学技術振興事業団

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