4. マルチ低インダクタンス内部アンテナを用いた次世代メートル級大面積プロセスに向けたプラズマ生成制御技術(<小特集>プラズマと電磁波の相互作用の新規応用 : 空間的・時間的デザインが拓く新機能)
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概要
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次世代の大面積プロセスでは,大面積の基板にわたって均一かつ高品質のプロセスを高いスループットで実現するためのプラズマ生成制御技術が求められている.本章では,プラズマ生成ならびに制御における問題点について概観し,次世代のメートルサイズを超える大面積プロセスを目指して開発を進めているマルチアンテナ方式のプラズマ生成・制御技術について紹介する.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 2008-04-25
著者
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