プラズマ異方性化学気相堆積法による硬質カーボン薄膜の低温製膜 (特集 革新的プラズマ科学の新潮流)

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概要

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著者

• 節原 裕一

  国立大学法人大阪大学接合科学研究所

• 白谷 正治

  九大

• 白谷 正治

  九州大学

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