4.プロセスプラズマ中の微粒子の凝集と輸送(<小特集>「プラズマと微粒子」研究の諸分野における進展)
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概要
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反応性プラズマを用いるプラズマプロセスでは,気相中で微粒子が発生することが多い.近年,この微粒子を多階層のナノシステムの機能性ナノ部品として使用するボトムアップ型のナノテクノロジーへの展開が盛んに行われている.本章では,この展開に重要な部分帯電した微粒子群の凝集と輸送についての最近の研究成果を紹介する.
- 2011-02-25
著者
-
渡部 行男
九大院理
-
白谷 正治
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
古閑 一憲
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
渡辺 征夫
九州大学
-
渡辺 征夫
九州大学大学院システム情報電子デバイス専攻
-
Watanabe Yoshihide
Department Of Electronics Faculty Of Engineering Tottori University
-
布村 正太
産総研
-
白谷 正治
九大
-
Watanabe Y
Kyushu Univ. Fukuoka Jpn
-
古閑 一憲
九州大学
-
Watanabe Yasutaka
Faculty Of Science Kwansei Gakuin University
-
白谷 正治
九州大学
-
内田 儀一郎
九州大学
-
布村 正太
産業技術総合研究所
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