白谷 正治 | 九州大学大学院システム情報科学研究院
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概要
関連著者
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白谷 正治
九州大学大学院システム情報科学研究院
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白谷 正治
九州大学
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渡辺 征夫
九州大学
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渡辺 征夫
九州大学大学院システム情報電子デバイス専攻
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Watanabe Yoshihide
Toyota Central Research And Development Laboratories Inc.
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古閑 一憲
九州大学大学院システム情報科学研究院
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白谷 正治
九大
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古閑 一憲
九州大学
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竹中 弘祐
阪大接合研
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竹中 弘祐
大阪大学接合科学研究所
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福澤 剛
九州大学
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福澤 剛
北九州高専
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福澤 剛[他]
北九州高専
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白谷 正治
九州大学大学院システム情報科学研究院電子デバイス工学部門
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竹中 弘祐
九州大学大学院システム情報科学府院電子デバイス工学専攻
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竹中 弘祐
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
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川崎 仁晴
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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古閑 一憲
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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川崎 仁晴
九州大学システム情報科学研究科
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関根 誠
名古屋大学
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関根 誠
名大
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節原 裕一
国立大学法人大阪大学接合科学研究所
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金 洪杰
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
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堀 勝
名古屋大学
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白谷 正治
九州大
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趙 研
大阪大学接合科学研究所
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渡部 行男
九大院理
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三重野 哲
静岡大・理
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柴田 憲治
九州大学
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節原 裕一
大阪大学
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Watanabe Yoshihide
Department Of Electronics Faculty Of Engineering Tottori University
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布村 正太
産総研
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林 信哉
佐賀大学
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林 信哉
佐賀大
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節原 裕一
大阪大学接合科学研究所
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堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
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三重野 哲
静岡大理
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Mieno T
Shizuoka Univ. Shizuoka‐shi
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近藤 郁
リオン株式会社
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鍛治 昂男
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
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鍛冶 昂男
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
-
大西 将夫
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
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佐藤 宙
九州大学
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川嶋 勇毅
九州大学
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中村 誠ウィリアム
九州大学
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薄葉 州
産総研
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白谷 正治
九州大学 大学院システム情報科学研究院
-
白谷 正治
九州大学システム情報科学研究院
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甲斐 幹英
九州大
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中武 靖裕
九州大学
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前田 真一
九州大学
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Watanabe Y
Kyushu Univ. Fukuoka Jpn
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木下 年夫
九州大学
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坂元 一貴
九州大学
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林 信哉
佐賀大学大学院工学系研究科
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Watanabe Yasutaka
Faculty Of Science Kwansei Gakuin University
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Mieno T
Department Of Physics Faculty Of Science Shizuoka University
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大倉 寛
九州大学
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木田 淳一郎
九州大学
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宮原 弘臣
九州大学
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上田 佳央
九州大学
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吉岡 貴
九州大学
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宮原 弘臣
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
-
内田 儀一郎
九州大学
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布村 正太
産業技術総合研究所
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Mieno T
Shizuoka Univ. Jpn
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金 洪杰
九州大学ベンチャービジネスラボラトリー
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中武 靖裕
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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中東 朱里
佐賀大学
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秋吉 雄介
佐賀大学
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北崎 訓
九州大学
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三重野 哲
静岡大学理学部
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竹中 弘祐
大阪大学
-
趙 研
大阪大学
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大西 将夫[他]
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
-
金 洪杰[他]
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
-
竹中 弘祐[他]
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
著作論文
- 9.光劣化しない革新的アモルファスシリコン太陽電池の作製をめざして(次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)
- プラズマ異方性CVDを用いたトレンチ内へのRuの堆積
- 真空紫外吸収分光法を用いた銅CVD放電中のH密度測定
- Cu(EDMDD)_2を用いたHアシストプラズマCVD法により堆積したCuの成膜初期観察
- Cu(EDMDD)_2を用いたHアシストプラズマCVD法による高純度銅薄膜形成
- Cu(hfac)_2を用いたプラズマCVDによる銅薄膜の形成機構
- 高品質光安定a-Si:H薄膜作製用マルチホロー放電における電子密度の空間分布
- クラスター制御プラズマCVDによるa-Si:H薄膜堆積
- 反応性プラズマを用いたナノ粒子の気相合成とナノ粒子含有膜堆積への応用
- プロセスプラズマ領域内浮遊粒子の吸引測定
- 微重力プラズマ中のナノ粒子形成
- 水素ラジカル源付プラズマCVD装置による高品質銅薄膜の形成
- 高品質銅薄膜堆積のためのHラジカル源付プラズマCVD装置の開発
- 銅薄膜形成用MOCVDプラズマの特性
- CVDプラズマのパルス変調による気相発生微粒子抑制
- ナノチューブの無重力アーク合成における粒子の冷却過程測定
- 研究開発の効率を飛躍的に高めるコンビナトリアルプラズマ解析装置 (特集 プラズマ技術の新しい挑戦)
- 4.プロセスプラズマ中の微粒子の凝集と輸送(「プラズマと微粒子」研究の諸分野における進展)
- 5.プロセスプラズマにおける微粒子現象(ダストプラズマの現状と課題)
- GeH_4およびSiH_4 rfプラズマ中微粒子の形成機構
- 光脱離・電離法によるシランプラズマ中微小微粒子成長過程観測
- 微粒子発生を伴う高周波シランガスプラズマに及ぼす放電周波数の影響
- 太陽とエネルギー変換原理 : (2) 光電効果・太陽電池への応用
- 低圧プラズマによる酸化還元反応および植物成長への影響
- VIII-1 Introductory Talk : プラズマ誘起サブサーフェスとは(シンポジウムVIII:カーボンプロセスにおけるプラズマ誘起サブサーフェス科学の新展開)
- フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ-ソフトマテリアル相互作用の解析
- フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマーソフトマテリアル相互作用の解析