銅薄膜形成用MOCVDプラズマの特性
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1995-02-09
著者
-
白谷 正治
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
柴田 憲治
九州大学
-
渡辺 征夫
九州大学
-
渡辺 征夫
九州大学大学院システム情報電子デバイス専攻
-
Watanabe Yoshihide
Toyota Central Research And Development Laboratories Inc.
-
川崎 仁晴
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
-
福澤 剛
九州大学
-
木下 年夫
九州大学
-
川崎 仁晴
九州大学システム情報科学研究科
-
白谷 正治
九州大学
-
福澤 剛
北九州高専
-
福澤 剛[他]
北九州高専
関連論文
- 23pHS-7 超高真空原子間力顕微鏡によるTSSG BaTiO_3結晶の分域観察(23pHS 誘電体(マルチフェロイック・ドメイン),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 23pHS-6 強誘電体の伝導ピーク現象と分域のその場観察(23pHS 誘電体(マルチフェロイック・ドメイン),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))
- 9.光劣化しない革新的アモルファスシリコン太陽電池の作製をめざして(次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)
- 放電プラズマ焼結法によるZnO-TiO_2-NiO系セラミックスにおける顕著なPTCR特性の出現
- 3F05 放電プラズマ焼結法による ZnO-TiO_2-NiO 系複合体の PTCR 特性
- 放電プラズマ焼結法によるZn-Ti-Ni-O系セラミックスの正の抵抗温度特性
- Thermally Induced Structural Modification of Nanometer-Order Mo/Si Multilayers by the Spectral Reflectance of Laser-Plasma Soft X-Rays
- Single-Shot Measurement of Spectral Reflectance of a Soft X-Ray Multilayer Mirror Using a Laser-Plasma X-Ray Source
- 25aZD-4 BaTiO_3単結晶のn型及びp型表面伝導の検討(25aZD 誘電体,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン物性))
- 1a-Z-1 ローワハイブリッドパラメトリック不安定と加熱現象