福澤 剛 | 九州大学
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概要
関連著者
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白谷 正治
九州大学大学院システム情報科学研究院
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渡辺 征夫
九州大学
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渡辺 征夫
九州大学大学院システム情報電子デバイス専攻
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Watanabe Yoshihide
Toyota Central Research And Development Laboratories Inc.
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福澤 剛
九州大学
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白谷 正治
九州大学
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福澤 剛
北九州高専
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福澤 剛[他]
北九州高専
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川崎 仁晴
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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川崎 仁晴
九州大学システム情報科学研究科
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柴田 憲治
九州大学
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金 洪杰
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
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中武 靖裕
九州大学
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前田 真一
九州大学
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木下 年夫
九州大学
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坂元 一貴
九州大学
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大倉 寛
九州大学
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木田 淳一郎
九州大学
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宮原 弘臣
九州大学
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上田 佳央
九州大学
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吉岡 貴
九州大学
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宮原 弘臣
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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金 洪杰
九州大学ベンチャービジネスラボラトリー
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中武 靖裕
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
著作論文
- 高品質銅薄膜堆積のためのHラジカル源付プラズマCVD装置の開発
- 銅薄膜形成用MOCVDプラズマの特性
- CVDプラズマのパルス変調による気相発生微粒子抑制
- GeH_4およびSiH_4 rfプラズマ中微粒子の形成機構
- 光脱離・電離法によるシランプラズマ中微小微粒子成長過程観測
- 微粒子発生を伴う高周波シランガスプラズマに及ぼす放電周波数の影響