中武 靖裕 | 九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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概要
関連著者
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中武 靖裕
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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金 洪杰
九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻
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福澤 剛
北九州高専
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九州大学大学院システム情報科学研究院
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九州大学大学院システム情報科学研究院
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九州大学
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渡辺 征夫
九州大学大学院システム情報電子デバイス専攻
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Watanabe Yoshihide
Toyota Central Research And Development Laboratories Inc.
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中武 靖裕
九州大学
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福澤 剛
九州大学
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古閑 一憲
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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福澤 剛
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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九州大学ベンチャービジネスラボラトリー
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九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
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福澤 剛[他]
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
著作論文
- 高品質銅薄膜堆積のためのHラジカル源付プラズマCVD装置の開発
- 銅薄膜形成用H原子源付プラズマCVD装置による銅含有ラジカルの表面反応制御
- 銅薄膜形成用Hラジカル源付プラズマCVD装置によるH密度と銅含有ラジカル密度の制御
- プラズマCVDによるLSI配線用銅薄膜作製における結晶サイズの増大と配向性向上の研究