9.光劣化しない革新的アモルファスシリコン太陽電池の作製をめざして(<小特集>次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
資源量が豊富であり省資源・低コストを実現できることから薄膜Si太陽電池が電力用太陽電池の本命と期待されている.太陽電池の大量導入には,高効率・低コスト・高歩留まりの実現が必要である.光劣化のないa-Si:H薄膜を作製できると,これらの実現が容易になる.a-Si:H成膜において気相で形成されるアモルファスSiクラスタの膜中への取り込みを抑制することにより,光劣化のないa-Si:H薄膜を作製できることを紹介する.
- 2010-01-25
著者
-
白谷 正治
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
古閑 一憲
九州大学大学院システム情報科学研究院
-
白谷 正治
九大
-
古閑 一憲
九州大学
-
古閑 一憲
九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻
-
白谷 正治
九州大学
関連論文
- 9.光劣化しない革新的アモルファスシリコン太陽電池の作製をめざして(次世代シリコン太陽電池製造のためのプラズマ技術)
- 第51回応用物理学関係連合講演会(2004年)
- プラズマ・プロセス技術
- 負イオンプラズマにおける非対称イオンシース構造
- 27p-C-4 イオンシース不安定性におけるシース構造(II)
- 非対称イオンシ-スにおける局所構造形成の観測
- 7a-YN-7 イオンシース不安定性におけるシース構造
- 29pXB-7 総合パネル討論(29pXB 領域2シンポジウム:現代プラズマ科学の最前線〜学際連携によるプラズマ理工学のさらなる展開,領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- プラズマ異方性CVDを用いたトレンチ内へのRuの堆積
- 真空紫外吸収分光法を用いた銅CVD放電中のH密度測定
- Cu(EDMDD)_2を用いたHアシストプラズマCVD法により堆積したCuの成膜初期観察
- Cu(EDMDD)_2を用いたHアシストプラズマCVD法による高純度銅薄膜形成
- Cu(hfac)_2を用いたプラズマCVDによる銅薄膜の形成機構
- マルチホロー放電プラズマCVDによる量子ドット増感太陽電池用シリコンナノ結晶粒子の作製 (特集 プラズマプロセスの応用技術)
- 高品質光安定a-Si:H薄膜作製用マルチホロー放電における電子密度の空間分布
- 28aSP-11 無対流ガス空間中炭素クラスターの凝集過程測定(ミー散乱)(28aSP プラズマ宇宙物理(コンプレックスプラズマ),領域2(プラズマ基礎・プラズマ科学・核融合プラズマ・プラズマ宇宙物理))
- 無対流ガス中炭素クラスター合成過程のミー散乱測定
- クラスター制御プラズマCVDによるa-Si:H薄膜堆積
- 反応性プラズマを用いたナノ粒子の気相合成とナノ粒子含有膜堆積への応用
- 新しいナノ構造形成技術:プラズマ異方性CDV (特集 新しいナノテクノロジーの展望)
- 23aA03 LHDで捕集したダスト粒子の電子顕微鏡観察(ヘリカルI, (社) プラズマ・核融合学会第21回年会)
- 高効率薄膜シリコン太陽電池のためのクラスタ制御プラズマCVD
- プロセスプラズマ領域内浮遊粒子の吸引測定
- シランプラズマ中のクラスタ成長と薄膜形成(有機ELとTFT(シリコン、化合物、有機)及びディスプレイ技術)
- シランプラズマ中のクラスタ成長と薄膜形成(有機ELとTFT(シリコン,化合物,有機)及びディスプレイ技術)
- シランプラズマ中のクラスタ成長と薄膜形成(有機ELとTFT(シリコン、化合物、有機)及びディスプレイ技術)
- 微重力プラズマ中のナノ粒子形成
- 27aA03 ダイバータ壁とプラズマの相互作用による微粒子形成機構研究用装置の試作(プラズマ基礎・応用)
- 反応性プラズマにおけるダスト形成と成長挙動制御
- フォトカウンティングレーザー散乱法によるプラズマ中の微粒子計測
- 水素ラジカル源付プラズマCVD装置による高品質銅薄膜の形成
- 高品質銅薄膜堆積のためのHラジカル源付プラズマCVD装置の開発
- プラズマの高精度制御
- 27p-C-1 負イオンプラズマ中の擬似波 II
- 29a-YG-10 イオン波の分散特性に対する負イオンの効果
- 銅薄膜形成用MOCVDプラズマの特性
- 28a-Q-11 負イオンを含む多成分プラズマのイオンシース中の現象
- CVDプラズマのパルス変調による気相発生微粒子抑制
- ナノチューブの無重力アーク合成における粒子の冷却過程測定
- 研究開発の効率を飛躍的に高めるコンビナトリアルプラズマ解析装置 (特集 プラズマ技術の新しい挑戦)
- 29a-YG-9 負イオンを含む多成分プラズマにおけるイオンシース不安定性(II)
- 基礎講座
- 4.プロセスプラズマ中の微粒子の凝集と輸送(「プラズマと微粒子」研究の諸分野における進展)
- 5.プロセスプラズマにおける微粒子現象(ダストプラズマの現状と課題)
- GeH_4およびSiH_4 rfプラズマ中微粒子の形成機構
- 光脱離・電離法によるシランプラズマ中微小微粒子成長過程観測
- プラズマ中微粒子の帯電と挙動
- 微粒子発生を伴う高周波シランガスプラズマに及ぼす放電周波数の影響
- プロセシングプラズマ中の微粒子
- RF シランプラズマ中のパウダー生成とその抑制
- 3p-F6-10 FRC形成時における軸方向磁場不均一性の磁気島生成に及ぼす効果III
- 28p-Y2-10 FRC形成時における軸方向磁場不均一性の磁気島形成に及ぼす効果
- 29a-H-2 Ar+H_2混合ガスパルス放電のおける再電離機構
- 30p-M-8 O-Pinch軸近傍における磁場隆起現象
- プラズマエレクトロニクス分科会
- 大気圧・液中プラズマの基礎と先端技術への応用
- プラズマを用いたナノ構造作製と制御
- プラズマCVD法による電気メッキ用銅シード層の形成
- 銅薄膜形成用H原子源付プラズマCVD装置による銅含有ラジカルの表面反応制御
- 太陽とエネルギー変換原理 : (2) 光電効果・太陽電池への応用
- 低圧プラズマによる酸化還元反応および植物成長への影響
- RF電圧振幅変調によるプロセスプラズマの反応制御
- 30pB18P LHD内のダストのその場捕集 I(真空・第一壁・材料)
- 28pB02 LHDにおける第一壁損耗と発生ダストの関連に関する研究(真空・第一壁・材料)
- VIII-1 Introductory Talk : プラズマ誘起サブサーフェスとは(シンポジウムVIII:カーボンプロセスにおけるプラズマ誘起サブサーフェス科学の新展開)
- 29aB05P LHDで第8サイクル実験後に捕集したダストの分析(真空・第一壁・材料)
- フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ-ソフトマテリアル相互作用の解析
- プラズマ異方性化学気相堆積法による硬質カーボン薄膜の低温製膜 (特集 革新的プラズマ科学の新潮流)
- フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマーソフトマテリアル相互作用の解析