堀 勝 | 名古屋大学
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概要
関連著者
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堀 勝
名古屋大学
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堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
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Hiramatsu M
Nano Factory Graduate School Of Science And Technology Meijo University
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後藤 俊夫
名古屋大学 工学研究科量子工学専攻
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後藤 俊夫
名古屋大学
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平松 美根男
名城大学理工学部電気電子工学科
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後藤 俊夫
Imram Tohoku University
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後藤 俊夫
名古屋大学化学科
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伊藤 昌文
名古屋大学工学研究科
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伊藤 昌文
名城大学理工学部
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加納 浩之
Nuエコ・エンジニアリング
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Ikeda M
Tdk Electronic Device Business Group Akita Jpn
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加納 浩之
Nuエコ・エンジニアリング株式会社
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太田 貴之
和歌山大学
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東島 康裕
NUシステム
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太田 貴之
和歌山大学システム工学部
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平松 美根男
名城大学・理工
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東島 康裕
Nuシステム株式会社
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堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
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井関 紗千子
名古屋大学大学院工学研究科
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高島 成剛
(財)名古屋都市産業振興公社 プラズマ技術産業応用センター
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Goto Takaaki
Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology
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河野 明廣
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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伊藤 昌文
和歌山大学
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高島 成剛
名古屋大学
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関根 誠
名古屋大学
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中村 成志
名古屋大学工学研究科
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山川 晃司
片桐エンジニアリング
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Goto T
Graduate School Of Pharmaceutical Sciences Tohoku University
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後藤 俊夫
名古屋大学大学院工学研究科
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河野 明廣
名古屋大学
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河野 明廣
名古屋大
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岩田 義幸
イビデン(株)
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坂本 一
イビデン(株)
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竹田 圭吾
名古屋大学 大学院工学研究科
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井関 紗千子
和歌山大学
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田子多 直樹
和歌山大学
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田 昭治
片桐エンジニアリング
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小林 重人
名古屋大学工学研究科
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白谷 正治
九州大学大学院システム情報科学研究院
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石井 信雄
東京エレクトロン(株)
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石井 信雄
東京エレクトロン
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藤山 寛
長崎大学工学部電気電子工学科
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石井 信雄
東エレ
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関根 誠
名大
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節原 裕一
国立大学法人大阪大学接合科学研究所
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野澤 陵一
名古屋大学
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村田 和哉
名古屋大学
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FAVIA Pietro
バリ大学
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高橋 俊次
(株)片桐エンジニアリング
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藤田 和司
名古屋大学工学研究科
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竹田 圭吾
和歌山大学大学院システム工学研究科
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山本 康雄
名古屋大学
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竹中 弘祐
阪大接合研
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山川 晃司
名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻
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藤山 寛
長崎大学
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縄田 正人
名城大学
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趙 研
大阪大学接合科学研究所
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竹中 弘祐
大阪大学接合科学研究所
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伊藤 昌文
名城大学
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竹田 圭吾
名古屋大学大学院工学研究科
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Ishii Nobuo
Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan
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Ishii Nobuo
Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Limited, Hosaka-cho, Nirasaki 407-01, Japan
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酒井 朗
名古屋大学工学研究科
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橘 善洋
和歌山大学
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山本 桂司
和歌山大学
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財満 鎭明
名古屋大学大学院工学研究科
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堀邊 英夫
金沢工業大学ものづくり研究所
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中山 博貴
名古屋大学工学研究科
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内田 悦行
愛知工業大学
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酒井 朗
大阪大学
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酒井 朗
名古屋大学
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節原 裕一
大阪大学
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服部 秀三
名古屋産業科学研究所
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近藤 博基
名古屋大学大学院工学研究科
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Kondo H
Department Of Biochemical Engineering And Science Kyushu Institute Of Technology
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小川 正毅
名古屋大学
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節原 裕一
大阪大学接合科学研究所
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堀邊 英夫
金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科
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財満 鎭明
名古屋大学先端技術共同研究センター
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武田 浩久
名古屋大学・工
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堀 勝
名大院工
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柏原 雅好
名大
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丸山 茂敏
名大
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服部 秀三
名古屋大学
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白谷 正治
九州大学 大学院システム情報科学研究院
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山田 浩二
名城大学
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近藤 博基
名古屋大学大学院光学研究科
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縄田 正人
名城大学理工学部
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後藤 敏夫
名古屋大学工学研究科
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後藤 俊夫
名大農
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関根 誠
名古屋大学大学院工学研究科附属プラズマナノ工学研究センター
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藤山 寛
長崎大学工学部
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平松 美根男
ナノファクトリー・名城大学理工学部電気電子工学科
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Kondo Hideo
Institute Of Advanced Material Study Graduate School Of Engineering Sciences And Crest Japan Science
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服部 秀三
名古屋大 工
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Kondo Hirotomo
Department Of Applied Chemistry Faculty Of Engineering Sojo University
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白谷 正治
九州大学
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Kondo H
Department Of Applied Chemistry Faculty Of Engineering Sojo University
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上飯坂 純
名古屋大学・工学研究科
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堀 勝
名古屋大学工学研究科量子工学専攻
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種村 榮
名古屋大学大学院工学研究科都市循環システム工学専攻
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藤井 俊明
名城大学
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横井 恒生
名城大学
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高橋 俊次
(株)片桐エンジニアリング:名古屋大学大学院工学研究科:名古屋大学プラズマナノ工学研究センター
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乾 裕俊
名古屋大学 大学院工学研究科
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井上 真里
和歌山大学
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財満 鎭明
名古屋大学
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水野 悦子
名城大学
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池田 雅延
名古屋大学
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菅沼 伸志
名古屋大学
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堀邊 英夫
金沢工大・ものづくり研究所
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河野 昭彦
金沢工業大学
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堀邊 英夫
金沢工業大学
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太田 貴之
名城大学
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財満 鎭明
名古屋大学大学院 工学研究科
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加藤 寛人
名城大学
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堤 隆嘉
名古屋大学
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新井 祐
金沢工業大学
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山岸 忠明
金沢大学
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渡邉 誠
金沢工業大学
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石川 健治
名古屋大学
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竹中 弘祐
大阪大学
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趙 研
大阪大学
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服部 秀三
名古屋大学工学部電子機械工学教室
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佐合 祐稔
名古屋大学工学部電子機械工学教室
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松井 圭司
(株) 大隅鉄工所
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蟹江 徹雄
名古屋大学工学部電子機械工学教室
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大塚 寿次
(株) 昭和真空
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永松 洋介
(株) 昭和真空
-
堀 勝
名古屋大学工学部電子機械工学教室
著作論文
- 9. フルオロカーボンプラズマを用いたナノ構造体の形成(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 7. 環境調和型ゼロエミッション・リサイクルナノエッチングプロセスの開発(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 1. はじめに(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 大気圧プラズマを用いたミドリカビの殺菌機構に関する考察
- マイクロホローカソードプラズマを用いた金属原子密度測定のための吸収分光用光源の開発
- 非平衡大気圧プラズマを用いたミドリカビの殺菌メカニズムの検証
- 5.低誘電率(Low-k)材料のドライエッチング(ドライエッチングの科学と技術の新局面)
- プラズマCVDを用いたカーボンナノウォールの成長(有機結晶の新展開)
- ECR C_4F_8プラズマにおけるCFxラジカル絶対密度の空間分布の計測とその分布形成機構
- CFxラジカル絶対密度のIRLAS空間分布測定
- シリコン表面の窒化初期過程とエネルギーバンドギャップの形成
- 低温多結晶シリコン薄膜の成長表面の評価
- ECR水素 プラズマアニール過程の in situ PM-IR-RAS 観察
- プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの形成
- 非平衡大気圧プラズマを用いた柑橘ミドリカビ胞子殺菌手法 : 殺菌要因の検討(有機材料,一般)
- プラズマ技術とバイオアプリケーション--非平衡大気圧プラズマのミドリカビ殺菌への応用 (特集 生体触媒研究の新潮流)
- ラジカル制御プラズマとその応用
- 大気圧プラズマを用いたシリコン酸化膜の高速加工
- プラズマ中のラジカル制御によるカーボンナノウォールの合成
- 21409 プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの高速成長及び表面積制御(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 高密度プラズマプロセッシングの現状と将来展望(高密度プラズマとその応用技術の最前線)
- フルオロカーボンプラズマを用いたナノ構造体の形成
- 環境調和型ゼロエミッション・リサイクルナノエッチングプロセスの開発
- OHラジカル注入によって形成したダイヤモンド薄膜のSTM/STS解析
- レーザーアブレーションを用いた環境調和型チャンバークリーニングプロセス
- レーザーアブレーションを利用した新規ラジカル注入法によるSiO_2/Si選択エッチングプロセスの制御
- プラズマ誘起表面科学の魅力
- Hラジカルを導入したRF CH3OHプラズマによるダイヤモンドの形成
- パルス変調プラズマCVDを用いた配向性ポリシリコン薄膜形成
- マイクロプラズマを光源に用いた真空紫外吸収分光法による原子密度計測
- 赤外半導体レーザー吸収分光による半導体プロセスモニタリング
- 6.マイクロ放電光源を用いたプラズマ吸収分光計測(マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
- マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いたシリコン酸化膜の超高速エッチングおよびカーボンナノチューブの形成
- マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いた超高速加工技術
- 5 システムLSIにおける低誘電率層間絶縁膜エッチング(プラズマの基礎・応用研究最前線(中部地区若手・中堅研究者の挑戦))
- スマートプラズマプロセス
- 5. RFプラズマCVDによるカーボンナノウォールの配向成長(プラズマプロセスによるカーボンナノチューブ配向成長の現状と課題)
- ドライエッチング
- 液中プラズマを用いたナノグラフェンの高速合成技術 (特集 「グラフェン」の実務的な視点での開発トレンド)
- プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの制御合成
- SR光によるCF_2薄膜およびフロライド金属薄膜の微細加工
- 「プラズマの世界」の実施状況
- 第7回 「科学と生活のフェスティバル」 報告
- 非平衡大気圧プラズマを用いた柑橘ミドリカビ胞子殺菌手法 : 殺菌要因の検討
- 高密度プラズマとエッチング・薄膜形成への応用
- 6. フルオロカーボンラジカル(CF_x)の表面反応過程 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
- ECR SiH_4プラズマ中のSi原子及びイオンの挙動
- リモート酸素プラズマを併用したポリシロキサンのレーザ蒸着
- ECR SiH_4プラズマプロセスにおけるラジカルの計測
- O_2/N_2ガスを用いた60Hz非平衡大気圧プラズマによるソルダーレジストとドライフィルムの表面改質
- 暮らし・環境・バイオとプラズマ
- 第71回応用物理学会学術講演会(2010年秋季)
- 複数金属元素同時モニタリング光源を用いた吸収分光法による透明導電膜成膜スパッタリングプロセスの診断
- フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマ-ソフトマテリアル相互作用の解析
- トリフルオロメチルトリフルオロビニルエーテル混合ガスを用いた60Hz非平衡大気圧プラズマによるビア底残渣のドライデスミア
- 非平衡大気圧プラズマを用いた柑橘ミドリカビ胞子殺菌手法 : 殺菌要因の検討
- 低コヒーレンス干渉計を用いたプラズマプロセス中の非接触ウエハ温度計測
- タングステン加熱触媒体により生成した水素ラジカルによるレジスト用ベースポリマーの分解除去
- フレキシブルデバイス創製に向けたプラズマーソフトマテリアル相互作用の解析
- Dry De-smear of Via Bottom Residue Using 60 Hz Nonequilibrium Atmospheric Pressure Plasma with Trifluoromethyle Trifluorovinyl Ether Mixing Gas
- 4槽回転型プラズマ成膜現像電子線真空リソグラフィ装置 (第26回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和60年11月6日〜8日,東京)