平松 美根男 | 名城大学・理工
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概要
関連著者
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平松 美根男
名城大学・理工
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堀 勝
名古屋大学
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平松 美根男
名城大学理工学部電気電子工学科
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堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
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Hiramatsu M
Nano Factory Graduate School Of Science And Technology Meijo University
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後藤 俊夫
名古屋大学 工学研究科量子工学専攻
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後藤 俊夫
名古屋大学
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後藤 俊夫
名古屋大学化学科
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伊藤 昌文
名古屋大学工学研究科
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山川 晃司
片桐エンジニアリング
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堀 勝
名大院工
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FAVIA Pietro
バリ大学
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後藤 俊夫
Imram Tohoku University
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縄田 正人
名城大学
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服部 秀三
名古屋産業科学研究所
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村田 和哉
名古屋大学
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柏原 雅好
名大
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丸山 茂敏
名大
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近藤 真悟
名大
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山田 浩二
名城大学
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縄田 正人
名城大学理工学部
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服部 秀三
名古屋大 工
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上飯坂 純
名古屋大学・工学研究科
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藤井 俊明
名城大学
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横井 恒生
名城大学
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水野 悦子
名城大学
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池田 雅延
名古屋大学
著作論文
- 9. フルオロカーボンプラズマを用いたナノ構造体の形成(材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
- 21409 プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの高速成長及び表面積制御(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- 21408 プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの成長メカニズム(デバイス&配線技術2,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- フルオロカーボンプラズマを用いたナノ構造体の形成
- OHラジカル注入によって形成したダイヤモンド薄膜のSTM/STS解析
- Hラジカルを導入したRF CH3OHプラズマによるダイヤモンドの形成
- SR光によるCF_2薄膜およびフロライド金属薄膜の微細加工
- リモート酸素プラズマを併用したポリシロキサンのレーザ蒸着