9. フルオロカーボンプラズマを用いたナノ構造体の形成(<小特集>材料プロセス用フルオロカーボンプラズマ-現状と展望-)
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概要
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フルオロカーボンプラズマCVDを用いた薄膜形成において,成膜条件によって膜の組成や構造が変化し,柔らかいフルオロカーボンポリマーから堅いダイヤモンドライクカーボンやグラファイトまで様々な構造体が得られる.フルオロカーボンの高周波プラズマにオン・オフ変調を加え,変調のデューティ比を数%程度に低く抑えることにより,カーボン状テフロンナノ構造体が得られる.ナノサイズの表面凹凸を有するフルオロカーボンポリマーは,細胞培養といった再生医工学への応用が期待されている.一方,フルオロカーボンプラズマに大量の水素原子を注入して,フッ素原子を積極的に引き抜くことにより,カーボンの自己組織化されたナノ構造体(カーボンナノウォール)が得られる.カーボンナノウォールは,薄いエッジと大きな表面積が特徴で,電子放出源や電極への応用が進められている.
- 2007-04-25
著者
-
堀 勝
名古屋大学
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
平松 美根男
名城大学理工学部電気電子工学科
-
FAVIA Pietro
バリ大学
-
Hiramatsu M
Nano Factory Graduate School Of Science And Technology Meijo University
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
平松 美根男
名城大学・理工
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