トリフルオロメチルトリフルオロビニルエーテル混合ガスを用いた60Hz非平衡大気圧プラズマによるビア底残渣のドライデスミア
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概要
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- 2012-04-01
著者
-
堀 勝
名古屋大学
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
竹田 圭吾
和歌山大学大学院システム工学研究科
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
岩田 義幸
イビデン(株)
-
坂本 一
イビデン(株)
-
竹田 圭吾
名古屋大学大学院工学研究科
-
竹田 圭吾
名古屋大学 大学院工学研究科
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