マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いた超高速加工技術

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概要

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• 一般社団法人 表面技術協会の論文
• 2004-12-01

著者

• 堀 勝

  名古屋大学

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 山川 晃司

  片桐エンジニアリング

• Hori Masaru

  School Of Engineering Nagoya University

• 山川 晃司

  名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻

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