Deposition of Diamond-Like Carbon Using Compact Electron-Beam-Excited Plasma Source
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概要
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We have deposited hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) films called diamond-like carbon (DLC) on an electrically floating disk using a compact electron-beam-excited plasma (EBEP) employing toluene and ethylene as feed gases. Since the EBEP source enables us to control the ion sheath bias on Ihe floating substrate by changing the electron-beam energy, the substrate ion bombardment energy needed to form the DLC film can be determined without applying an additional bias power supply such as RF. The relationship among the DLC film properties, the deposition rate and the electron-beam acceleralion voltage for both feed gases has been investigated. In order 10 achieve uniform deposition on a disk of 80 mm diameter, the optimization of the compact EBEP source has been examined as well. A high-quality DLC film with good film uniformity on the disk was synthesized at high acceleration voltage employing toluene gas.
- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-08-15
著者
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
Hori Masaru
Department Of Quantum Engineering Nagoya University
-
GOTO Toshio
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
Ikeda M
Tdk Electronic Device Business Group Akita Jpn
-
ITO Masafumi
Faculty of System Eng., Wakayama University
-
Goto T
Graduate School Of Pharmaceutical Sciences Tohoku University
-
Goto Takaaki
Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology
-
Hori Masaru
Department Of Electrical Engineering And Computer Science Graduate School Of Engineering Nagoya Univ
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
HAMAGAKI Manabu
The Institute of Physical and Chemical Research (RIKEN)
-
TADA Shigekazu
Department of Quantum Engineering, Nagoya University
-
Hamagaki Manabu
The Institute Of Physical And Chemical Research
-
Goto Toshio
Department Of Electronics Faculty Of Engineering Nagoya University
-
Sakakibara T
Department Of Quantum Engineering Nagoya University
-
後藤 俊夫
Imram Tohoku University
-
Ito Masafumi
Faculty Of System Eng. Wakayama University
-
Goto Toshio
Department Of Electronic Mechanical Engineering Nagoya University
-
Ito Masafumi
Faculty of Science and Technology, Meijo University, Nagoya 468-8502, Japan
-
GOTO Toshio
Department of Agricultural Chemistry, Faculty of Agriculture, Nagoya University
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