O_2/N_2ガスを用いた60Hz非平衡大気圧プラズマによるソルダーレジストとドライフィルムの表面改質
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2011-06-01
著者
-
堀 勝
名古屋大学
-
堀 勝
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
Hiramatsu M
Nano Factory Graduate School Of Science And Technology Meijo University
-
Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
-
岩田 義幸
イビデン(株)
-
坂本 一
イビデン(株)
-
乾 裕俊
名古屋大学 大学院工学研究科
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