6.マイクロ放電光源を用いたプラズマ吸収分光計測(<小特集>マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)

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概要

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• A new technique is described which employs vacuum ultraviolet absorption spectroscopy for measuring the absolute densities of atomic species in processing plasmas. A high-pressure point-source-like microdischarge light source was developed for generating atomic resonance radiation for absorption spectroscopy. Self-absorption in the light source was reduced to a negligible level and pressure broadening of the resonance radiation was estimated. Application of the technique to H and N density measurements is described.

• 2000-05-25

著者

• 河野 明廣

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 堀 勝

  名古屋大学

• 高島 成剛

  名古屋大学

• 後藤 俊夫

  名古屋大学化学科

• 堀 勝

  名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻

• 高島 成剛

  (財)名古屋都市産業振興公社 プラズマ技術産業応用センター

• Hori Masaru

  School Of Engineering Nagoya University

• 後藤 俊夫

  名古屋大学大学院工学研究科

• 後藤 俊夫

  名古屋大学 工学研究科量子工学専攻

• 河野 明廣

  名古屋大学

• 河野 明廣

  名古屋大

• 後藤 俊夫

  名古屋大学

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