ディジタル信号処理FMヘテロダイン干渉法による近距離検出
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概要
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An FM heterodyne interferometer using the digital signal processing has been constructed for the measurement of short distance(≧2.5 cm). The digital signal processing consists of the signal amplitude correction, the signal frequency measurement by averaging beat periods and the signal phase measurement. In the experiments, the distances from 2.5 cm to 10.5 cm have been measured with the accuracy less than 76.1 μm by the phase measurement. The error in the phase measurement was less than that in the frequency measurement by a factor of 3 to 6. The influences of the digital signal processing on the measurement accuracy have also been discussed.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1992-06-05
著者
-
松田 文夫
豊田工業高等専門学校
-
後藤 俊夫
名古屋大学化学科
-
松田 文夫
岐阜工業高等専門学校
-
羽根 一博
名大工
-
伊藤 昌文
名古屋大学工学研究科
-
羽根 一博
名古屋大学工学部
-
後藤 俊夫
名古屋大学 工学研究科量子工学専攻
-
伊藤 昌文
名古屋大学工学部
-
後藤 俊夫
名古屋大学
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