円形回折格子のレーザ回折光を用いた基準位置検出法
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概要
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A position sensing technique by using the light diffracted from a small circular grating is proposed. The circular grating is attached to the surface of the object as a reference for the measurement (reference point). The grating is irradiated by laser light and the elliptical pattern generated by diffraction is measured by a CCD image sensor. By processing the diffraction pattern, the distance from the detector to the reference point is obtained. In addition, it is possible to derive the three dimensional position of the reference point and the inclination of the work surface. The experiments were carried out by using a circular grating of 20 μm pitch and 0.6 mm diameter. The accuracies of the measurements are also discussed.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1991-02-05
著者
-
松田 文夫
豊田工業高等専門学校
-
後藤 俊夫
名古屋大学化学科
-
松田 文夫
岐阜工業高等専門学校
-
羽根 一博
名大工
-
伊藤 昌文
名古屋大学工学研究科
-
羽根 一博
名古屋大学工学部
-
河口 寿夫
名古屋大学工学部
-
後藤 俊夫
名古屋大学 工学研究科量子工学専攻
-
伊藤 昌文
名古屋大学工学部
-
後藤 俊夫
名古屋大学
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