フォトサーマル効果を用いた近接距離検出法
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概要
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A new optical method for the proximity sensing is proposed. The distance from the object surface to the sensor is measured by using the thermal wave generated by the light absorbed at the surface. The proposed method is useful for the surface with a high absorption coefficient. Moreover, the technique can be applied to the specular surface as well as the rough surface if the light is absorbed somewhat at the surface. A modified mirage technique was used for monitoring the amplitude and phase signals of the thermal wave. In the experiment, a black rubber plate and an aluminum mirror were used as the objects. The accuracies of measuring distance are discussed.
- 社団法人精密工学会の論文
- 1992-01-05
著者
-
松田 文夫
豊田工業高等専門学校
-
後藤 俊夫
名古屋大学化学科
-
松田 文夫
岐阜工業高等専門学校
-
羽根 一博
名大工
-
伊藤 昌文
名古屋大学工学研究科
-
羽根 一博
名古屋大学工学部
-
後藤 俊夫
名古屋大学 工学研究科量子工学専攻
-
伊藤 昌文
名古屋大学工学部
-
後藤 俊夫
名古屋大学
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