河野 明廣 | 名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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概要
関連著者
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河野 明廣
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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河野 明廣
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河野 明廣
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後藤 俊夫
名古屋大学 工学研究科量子工学専攻
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名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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荒巻 光利
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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河野 明廣
名大工
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内田 悦行
愛知工業大学工学部電気学科
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石井 信雄
東京エレクトロン(株)
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永井 伸治
名古屋大学
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内田 悦行
愛知工業大学
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佐々木 浩一
名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻
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石井 信雄
東京エレクトロン
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古橋 秀夫
愛知工業大学情報通信工学専攻
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石井 信雄
東エレ
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古橋 秀夫
愛知工業大学 電気学科 情報通信工学専攻
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中村 成志
名古屋大学工学研究科
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伊藤 昌文
名古屋大学工学研究科
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古橋 秀夫
愛知工大
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Goto Takaaki
Department Of Electric Engineering Tokyo University Of Agriculture And Technology
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佐々木 浩一
名古屋大学
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Hori Masaru
School Of Engineering Nagoya University
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河野 明廣
名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻
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河野 明廣
名古屋大学 先端技術協同研究センター
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Ishii Nobuo
Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Ltd. 650 Mitsuzawa, Hosaka-cho, Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan
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Ishii Nobuo
Corporate R&D Central Research Laboratory, Tokyo Electron Limited, Hosaka-cho, Nirasaki 407-01, Japan
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寺嶋 和夫
東京大学大学院新領域創成科学研究科
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亀山 悟史
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
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亀山 悟史
名大工
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佐々木 浩一
北海道大学大学院工学研究院
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高島 成剛
名古屋大学
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中山 博貴
名古屋大学工学研究科
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後藤 俊夫
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滝沢 一樹
名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻
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ガブリレンコ ガブリレンコ
ロシア標準委員会表面真空研究所
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一木 隆範
東京大学大学院工学系研究科 バイオエンジニアリング専攻
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門田 清
名古屋大学大学院工学研究科
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門田 清
名古屋大学大学院工学研究科電子工学専攻
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名古屋大学プラズマ科学センター
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中谷 圭吾
名古屋大学
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一木 隆範
東洋大学・工
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佐々木 浩一
名大工
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坂井 正宏
名古屋大学
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高島 成剛
(財)名古屋都市産業振興公社 プラズマ技術産業応用センター
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広瀬 敏
名古屋大
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小西 雅人
名古屋大学
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名古屋大学大学院工学研究科
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寺嶋 和夫
東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系専攻
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伊藤 剛仁
東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系
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藤原 秀行
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東京大学大学院新領域創成科学研究科物質系
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王 剣亮
名古屋大学工学研究科電子情報システム専攻
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Department Of Electronics Nagoya University
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名古屋大学フラスマ研究所
著作論文
- 3.RFトラップ中のレーザー冷却プラズマ(極低温環境下でのプラズマ研究の新展開)
- 25pB02 アルゴンをプローブ粒子としたレーザー誘起蛍光減光法による超高感度電界計測(プラズマ基礎・応用I)
- ECR C_4F_8プラズマにおけるCFxラジカル絶対密度の空間分布の計測とその分布形成機構
- CFxラジカル絶対密度のIRLAS空間分布測定
- 微弱スぺクトルの高S/N比計測のための高効率2次元光子計数処理
- CARSによるArFエキシマレーザー放電中のF_2密度測定
- 放電励起ArFレーザプラズマ中の電子密度計測
- 4. 負イオンの生成および消滅過程 : 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
- 4. マイクロプラズマの応用(ミクロ反応場の生成と応用-マイクロプラズマ研究の現状と将来展望-)
- 6.マイクロ放電光源を用いたプラズマ吸収分光計測(マイクロプラズマ : 基礎から応用まで)
- 鏡間に誘電体板が挿入されたファブリーペロー共振器の共振特性
- RF SiH4/SiH2Cl2混合ガスプラズマの電子密度及びラジカル計測